[发明专利]具有自动警示功能的外延生产用可控压力顶笔装置

摘要

本发明公开的具有自动警示功能的外延生产用可控压力顶笔装置，包括顶笔头、笔身、滑杆、笔杆和压力调节和自动警示装置，压力调节和自动警示装置包括壳体、置于壳体中的两个弹簧座、钮扣电池和弹簧，两个弹簧座通过轴向孔滑动配合，弹簧位于两个弹簧座之间，处于压紧状态，两个弹簧座的轴向孔内壁和轴向杆上分别镶嵌有金属片，置于笔杆中的滑杆的一端与固定顶笔头的笔身连接，另一端与第一弹簧座伸出壳体端接触。当顶笔头受力，两个弹簧座的金属片接触，电路接通，警示灯亮，该顶笔装置能够保证操作者对置于基座中的衬底片进行顶压时所施加顶笔的压力一致，消除由于人为因素造成的顶片效果差别，提高外延片的电阻率一致性和厚度均匀性。

主权项

1. 具有自动警示功能的外延生产用可控压力顶笔装置，其特征在于包括顶笔头(1)、笔身(2)、滑杆(3)、笔杆(4)和压力调节和自动警示装置，压力调节和自动警示装置包括壳体(15)、置于壳体(15)中的两个弹簧座(8、11)、钮扣电池(14)和弹簧(12)，第一弹簧座(8)和第二弹簧座(11)之间通过轴向孔形成滑动配合，弹簧(12)位于两个弹簧座(8、11)之间，处于压紧状态，第一弹簧座(8)的顶端伸出壳体(15)，第二弹簧座(11)的顶端和钮扣电池(14)接触，第一弹簧座(8)的轴向孔内壁镶嵌有金属片(9)，第二弹簧座(11)的轴向杆上镶嵌有两片相互分离的金属片(10)，该两片相互分离的金属片(10)通过导线(17)与安装在壳体(15)上的警示灯(13)相连。顶笔头(1)紧固在笔身(2)的一端，笔身(2)的另一端设有中心螺纹孔(5)和导向槽(7)，笔杆(4)的顶端设有与导向槽(7)匹配的突出部分，滑杆(3)和压力调节和自动警示装置置于笔杆(4)中，滑杆(3)的一端与笔身(2)的中心螺纹孔(5)螺纹连接，滑杆(3)的另一端具有与笔杆(4)中的环形面(18)配合的凸台，凸台端面与第一弹簧座(8)伸出壳体(15)的一端接触，笔杆上有警示灯显示窗。