[发明专利]一体式分压型氧气传感器的制造方法无效
| 申请号： | 200910073455.5 | 申请日： | 2009-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN102103118A | 公开（公告）日： | 2011-06-22 |
| 发明（设计）人： | 周明军;程迎国;金鹏飞;尤佳;郝玉芳;刘智敏;武强 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十九研究所 |
| 主分类号： | G01N27/41 | 分类号： | G01N27/41 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及的是一种一体式分压型氧传感器的制造方法。它是采用高温陶瓷共烧工艺技术将加热器、测温器、浓差池、泵池、气体通道、气密工作腔室依次叠层，热压制成一体，一次共烧制成具有一体式加热和测量功能的分压型氧气传感器。所述的加热器是在部分稳定的ZrO2流延膜片印刷Pt电极图形。测温器是在部分稳定的ZrO2流延膜片印刷Pt电阻图形。泵池和浓差池是在ZrO2膜片上印刷多孔Pt电极，并在两池之间构成气密工作腔室组成氧敏感芯体。本发明具有抗振性好，环境适应性强，可靠性高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 体式 分压型 氧气 传感器 制造 方法 | ||
【主权项】：
一体式分压型氧传感器，包括：它是采用高温陶瓷共烧结工艺技术，将绝缘层、加热器、测温器、浓差池电解质、泵池电解质、气体通道、气密工作腔室，经过叠层、层压成一体，共烧成具有一体式加热器和测温功能的分压型氧传感器。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国电子科技集团公司第四十九研究所，未经中国电子科技集团公司第四十九研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200910073455.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：电表和基于电表的远程遥控方法
- 下一篇：一种用于检测氨气的传感器及其制备方法
