[发明专利]一种砷化镓多晶尾料的合成利用方法无效
| 申请号： | 200910064346.7 | 申请日： | 2009-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN101538741A | 公开（公告）日： | 2009-09-23 |
| 发明（设计）人： | 李百泉;韩振坤;李玉平 | 申请（专利权）人： | 新乡市神舟晶体科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/42 | 分类号： | C30B29/42;C30B11/00 |
| 代理公司： | 新乡市平原专利有限责任公司 | 代理人： | 马既森 |
| 地址： | 453000河南省新乡市卫滨*** | 国省代码： | 河南;41 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种砷化镓多晶尾料的合成利用方法，本发明首先将砷化镓多晶尾料表面处理干净，即用水磨砂纸将砷化镓多晶尾料表面的杂质及氧化层打磨掉，再用盐酸与硝酸按3∶1配比液腐蚀3-5分钟，达到表面光亮为准，二是对原料的配比进行调整，使砷与镓的重量比为1∶1，并加入砷化镓总重量为0.5％的砷一齐装入石英管内进行合成，三是在合成生长过程中调整合成热场的升温速率为2∶1，并保持石英管内的气压不高于一个大气压。用本发明的方法主要是对原料重量比和热场升温速率进行了调整，不但使合成料的利用率达到99％以上，而且有利于提高生产过程的安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 砷化镓 多晶 合成 利用 方法 | ||
【主权项】：
1、一种砷化镓多晶尾料的合成利用方法，其特征在于：首先将砷化镓多晶尾料表面处理干净，即用水磨砂纸将砷化镓多晶尾料表面的杂质及氧化层打磨掉，再用盐酸与硝酸按3∶1配比液腐蚀3-5分钟，达到表面光亮为准，二是对原料的配比进行调整，使砷与镓的重量比为1∶1，并加入砷化镓总重量为0.5％的砷一齐装入石英管内进行合成，三是在合成生长过程中调整合成热场的升温速率为2∶1，并保持石英管内的气压不高于一个大气压。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于新乡市神舟晶体科技发展有限公司，未经新乡市神舟晶体科技发展有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200910064346.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
