[发明专利]真空容器内光学平台支撑装置无效
申请号: | 200910059291.0 | 申请日: | 2009-05-15 |
公开(公告)号: | CN101604553A | 公开(公告)日: | 2009-12-16 |
发明(设计)人: | 周海;林东晖;陈良明;朱启华;景峰 | 申请(专利权)人: | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
主分类号: | G12B9/10 | 分类号: | G12B9/10 |
代理公司: | 中国工程物理研究院专利中心 | 代理人: | 翟长明;韩志英 |
地址: | 621900四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明提供了一种真空容器内光学平台支撑装置。本发明的真空容器内光学平台支撑装置的真空壳体通过真空壳体支座直接固定于支撑平台上,光学平台支座与光学平台连接后穿过真空壳体固定于支撑平台上;光学平台支座与真空壳体采用无刚性接触;波纹管的上端法兰与真空壳体密封连接,波纹管的下端法兰与光学平台支座密封连接。本发明的真空容器内光学平台支撑装置使真空环境下的光学平台不受真空变形和真空机组振动的影响,具有较高的稳定性。 | ||
搜索关键词: | 真空 容器 光学 平台 支撑 装置 | ||
【主权项】:
1.一种真空容器内光学平台支撑装置,其特征在于:所述的支撑装置的真空壳体(1)通过真空壳体支座直接固定于支撑平台(6)上,光学平台支座(4)与光学平台(3)连接后穿过真空壳体(1)固定于支撑平台(6)上;光学平台支座(4)与真空壳体(1)采用无刚性接触;波纹管(5)的上端法兰与真空壳体(1)密封连接,波纹管(5)的下端法兰与光学平台支座(4)密封连接。
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