[发明专利]两步法退火制备钽钪酸铅基铁电薄膜的方法有效
| 申请号： | 200910058467.0 | 申请日： | 2009-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN101532175A | 公开（公告）日： | 2009-09-16 |
| 发明（设计）人： | 朱建国;孙宇澄;肖定全;李雪东;朱基亮 | 申请（专利权）人： | 四川大学 |
| 主分类号： | C30B29/22 | 分类号： | C30B29/22;C30B29/30;C30B33/02;H01L41/24 |
| 代理公司： | 成都科海专利事务有限责任公司 | 代理人： | 黄幼陵;马新民 |
| 地址： | 610207四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种两步法退火制备钽钪酸铅基铁电薄膜的方法，工艺步骤包括制备过渡层、制备钽钪酸铅基铁电薄膜、钽钪酸铅基铁电薄膜的退火处理；钽钪酸铅基铁电薄膜的退火处理是将钽钪酸铅基铁电薄膜放入退火炉内，在氧气流中以40℃/秒的升温速率升温至800℃～850℃后即刻停止加热，使其随炉冷却至500℃～600℃保温3分钟～5分钟，然后随炉冷却至室温。采用上述方法制备的钽钪酸铅基铁电薄膜钙钛矿相纯度可达100％，结晶性能好，表面均方根粗糙度较低，而且还具有剩余极化强度高和高度择优取向的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 步法 退火 制备 钽钪酸铅基铁电 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
1、一种两步法退火制备钽钪酸铅基铁电薄膜的方法，工艺步骤包括制备过渡层、制备钽钪酸铅基铁电薄膜、钽钪酸铅基铁电薄膜的退火处理，其特征在于钽钪酸铅基铁电薄膜的退火处理是将钽钪酸铅基铁电薄膜放入退火炉内，在氧气流中以40℃/秒的升温速率升温至800℃～850℃后即刻停止加热，使其随炉冷却至500℃～600℃保温3分钟～5分钟，然后随炉冷却至室温。
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