[发明专利]基于U+V型的柔性复合梁电热微驱动器无效
| 申请号： | 200910055966.4 | 申请日： | 2009-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN101621261A | 公开（公告）日： | 2010-01-06 |
| 发明（设计）人： | 张丛春;吴义伯;王娟;张小波;王亚攀;丁桂甫 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | H02N10/00 | 分类号： | H02N10/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 | 代理人： | 王锡麟;王桂忠 |
| 地址： | 200240*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种基于U+V型的柔性复合梁电热微驱动器，属于微机电系统技术领域。本发明包括：U型梁基座、U型梁电极、V型梁基座、V型梁电极、U型双热臂复合梁电热驱动器、V型复合梁电热驱动器。所述U型双热臂复合梁电热驱动器包括U型双热臂金属电阻丝、U型金属冷臂、U型双热臂聚合物驱动层和U型冷臂聚合物层；所述V型复合梁电热驱动器包括V型金属电阻丝、金属触点和V型聚合物驱动层。U型双热臂金属电阻丝、U型金属冷臂和V型金属电阻丝完全被所述的U型双热臂聚合物驱动层、U型冷臂聚合物层和V型聚合物驱动层包裹，形成聚合物-金属-聚合物的三明治结构。本发明的电热微驱动器驱动位移较大、驱动刚度较高、功耗低、且能量利用率高。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 柔性 复合 电热 驱动器 | ||
【主权项】：
1、一种基于U+V型的柔性复合梁电热微驱动器，其特征在于，包括：一个V型复合梁电热驱动器以及两组相同结构的U型梁基座、U型梁电极、V型梁基座、V型梁电极和U型双热臂复合梁电热驱动器，其中：两组相同结构的U型梁基座和V型梁基座分别位于衬底上，U型梁电极位于U型梁基座之上，V型梁电极位于V型梁基座之上，U型双热臂复合梁电热驱动器位于V型梁基座上并分别与V型梁电极、U型梁电极以及V型复合梁电热驱动器相连接。
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