[发明专利]一种去除磷和金属杂质的提纯硅的方法无效
申请号: | 200910048704.5 | 申请日: | 2009-04-01 |
公开(公告)号: | CN101850975A | 公开(公告)日: | 2010-10-06 |
发明(设计)人: | 高文秀;赵百通 | 申请(专利权)人: | 高文秀 |
主分类号: | C01B33/037 | 分类号: | C01B33/037 |
代理公司: | 上海京沪专利代理事务所(普通合伙) 31235 | 代理人: | 周志宏 |
地址: | 200083 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及一种去除磷和金属杂质的提纯硅的方法。其包括以下步骤:将封密式提纯炉内净化,加热熔融封密式提纯炉石墨坩锅内的金属硅;对呈熔融状态的金属硅溶液喷吹预热的O2和Ar混合气体;停止吹入O2和Ar混合气体,通过硅液底部骤冷,使其从底部向上进行定向凝固;硅锭出炉,去四周及头尾完成提纯得到高纯度的多晶硅。与现有技术相比,本发明通过直流电弧放电加热硅熔化成液态,同时底部吹预热的O2和Ar实现搅拌作用,让具有高发挥系数的磷等杂质去除;搅拌时间达到设定值后,从底部向上进行定向凝固,完成了对硅去磷除金属的提纯。本发明是一种低成本、工艺简单、无环境污染问题,改进了硅材料的性能、是一种易于产业化的硅提纯的制作工艺和制作方法。 | ||
搜索关键词: | 一种 去除 金属 杂质 提纯 方法 | ||
【主权项】:
一种去除磷和金属杂质的提纯硅的方法,其特征在于,包括以下步骤:步聚1,将封密式提纯炉内净化,加热熔融封密式提纯炉石墨坩锅内的金属硅;步骤2,对呈熔融状态的金属硅溶液喷吹预热的O2和Ar混合气体;步骤3,停止吹入O2和Ar混合气体,通过硅液底部骤冷,使其从底部向上进行定向凝固;步骤4,硅锭出炉,去头尾完成提纯得到高纯度的多晶硅。
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