[发明专利]微型非本征法布里-珀罗型光纤压力传感器及其制作方法无效
| 申请号： | 200910031998.0 | 申请日： | 2009-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN101655353A | 公开（公告）日： | 2010-02-24 |
| 发明（设计）人： | 王鸣;葛益娴;杨春弟;闫海涛 | 申请（专利权）人： | 南京师范大学 |
| 主分类号： | G01B11/16 | 分类号： | G01B11/16;B81B7/02;B81C5/00;B81C3/00;G02B6/255 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 | 代理人： | 程化铭 |
| 地址： | 210046江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微型非本征法布里-珀罗型光纤压力传感器，由单模光纤和多模光纤构成，多模光纤带凹腔的端面与单模光纤的一个端面熔接形成FP腔。其制作步骤是：将两光纤切出平端面并研磨抛光；将研磨后的多模光纤的端面插入HF酸缓冲溶液中腐蚀形成凹腔，在与单模光纤研磨抛光的端面熔接，形成法珀腔结构；切割多模光纤至所需薄膜厚度。本发明由多模光纤的凹腔底面和单模光纤的端面构成FP腔，光经过光纤直接进入FP腔，避免了其他介质对光路的影响；传感器制作材料为普通的单模、多模光纤，价格便宜。制作过程仅采用切割、腐蚀、熔接的方法，传感器机械性能高，制作简单。因此，借助本发明可以实现制作简便，精度高，灵敏度高，可靠性好的光纤压力传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 微型 征法布里 珀罗型 光纤 压力传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1、一种微型非本征法布里-珀罗型光纤压力传感器，由一根单模光纤和一根多模光纤构成，其特征是：所述单模光纤和多模光纤均为裸光纤，多模光纤的一个端面带有凹腔，多模光纤带凹腔的端面与单模光纤的一个端面熔接形成FP腔。
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