[发明专利]单晶炉的结构

摘要

本发明涉及利用多晶硅提拉出单晶硅的一种装置，具体是一种单晶炉的结构。该结构上炉体、炉盖、翻板箱、副炉内均设置有流通冷却液的夹层，炉底板上设置有加热装置和支撑装置，加热装置和支撑装置穿入炉体，炉体内设置有保温层和盛放多晶硅材料的容器，该保温层设置在炉体与加热装置之间，容器设置在支撑装置端部，炉体顶端设置有氩气的导流装置，翻板箱内设置有翻板闸门装置，副炉顶部设置有提拉机构，炉底板底部与翻板箱侧壁均设置有真空抽口，炉体、炉盖、翻板箱、副炉上均设置有镁棒接口。本发明的有益效果是提高生产效率，降低生产成本，延长了单晶炉的使用寿命。

主权项

1、单晶炉的结构，其从下至上的主部件依次具有炉底板、炉体、炉盖、翻板箱、副炉，其特征在于：炉体、炉盖、翻板箱、副炉内均设置有流通冷却液的夹层，炉底板上设置有加热装置和支撑装置，加热装置和支撑装置穿入炉体，该加热装置具有一腔体，支撑装置端部设置在该腔体内，炉体内设置有保温层和盛放多晶硅材料的容器，该保温层设置在炉体与加热装置之间，容器设置在支撑装置端部，炉体顶端设置有氩气的导流装置，翻板箱内设置有翻板闸门装置，副炉顶部设置有提拉机构，该提拉机构伸入副炉内，炉底板底部与翻板箱侧壁均设置有真空抽口，炉体、炉盖、翻板箱、副炉上均设置有镁棒接口。