[发明专利]用于平板显示器件的氧化锌透明电极的制备方法

摘要

用于平板显示器件的氧化锌透明电极的制备方法涉及透明电极的设计、制备和表面改性其制备方法为：1)准备一块制作平板显示器件的透明基板(1)，2)采用磁控溅射、或电弧成膜、或超声喷雾成膜的方法在透明基板(1)上制备氧化锌透明导电薄膜(2)，3)向氧化锌透明导电薄膜(2)掺入镓、铝或者锡杂质，提高氧化锌薄膜的电导率，使其方块电阻小于50Ω/□，4)控制薄膜生长参数，以及掺杂形成薄膜的晶格缺陷，获得非晶的氧化锌薄膜，以提高薄膜的平整度，通过掺杂的方法提高氧化锌薄膜的电导率，通过表面处理的方法改进氧化锌薄膜的平整度和透光率。采用本发明的氧化锌透明电极取代传统的氧化铟锡透明电极，简化了制备工艺，降低了成本。

主权项

1、一种用于平板显示器件的氧化锌透明电极的制备方法，其特征是该制备方法为：1. )准备一块制作平板显示器件的透明基板(1)，2. )采用磁控溅射、或电弧成膜、或超声喷雾成膜的方法在透明基板(1)上制备氧化锌透明导电薄膜(2)，3. )向氧化锌透明导电薄膜(2)掺入镓、铝或者锡杂质，提高氧化锌薄膜的电导率，使其方块电阻小于50Ω/□，4. )控制薄膜生长参数以及掺杂形成薄膜的晶格缺陷，获得非晶的氧化锌薄膜，以提高薄膜的平整度。