[发明专利]一种三氯氢硅合成尾气回收方法

摘要

本发明提供了一种三氯氢硅合成尾气回收方法，来自冷凝系统的合成尾气进入HCl吸收塔，来自HCl精馏塔塔釜的氯硅烷经冷却至低温后作为吸收液进入HCl吸收塔，在这里HCl被低温的液态氯硅烷流体吸收，塔釜氯硅烷和来自冷凝系统的氯硅烷液体混合后进入HCl精馏塔，在HCl精馏塔中HCl以气态的形式从塔顶采出，进入三氯氢硅合成装置回收利用，HCl精馏塔塔底采出的氯硅烷经冷却后一部分作为粗单体去精馏，剩余部分经进一步冷却后作为HCl吸收塔的吸收液循环使用，从HCl吸收塔塔顶分离出来的H₂经活性碳吸附罐吸附氯硅烷后重新进入HCl合成装置达到回收利用的目的。本发明实现了合成装置的闭路循环，无废气排出，彻底解决了环境污染问题，降低了三氯氢硅合成生产中的三废处理费用。

主权项

1、一种三氯氢硅合成尾气回收方法，其特征是来自冷凝系统的合成尾气进入HCl吸收塔(T-101)，来自HCl精馏塔(T-102)塔釜的氯硅烷经冷却至低温后作为吸收液进入HCl吸收塔(T-101)，在这里HCl被低温的液态氯硅烷流体吸收，塔釜氯硅烷和来自冷凝系统的氯硅烷液体混合后进入HCl精馏塔(T-102)，在HCl精馏塔(T-102)中HCl以气态的形式从塔顶采出，进入三氯氢硅合成装置回收利用，HCl精馏塔(T-102)塔底采出的氯硅烷经冷却后一部分作为粗单体去精馏，剩余部分经进一步冷却后作为HCl吸收塔(T-101)的吸收液循环使用，从HCl吸收塔(T-101)塔顶分离出来的H2经活性碳吸附罐(V-101)吸附氯硅烷后重新进入HCl合成装置达到回收利用的目的。