[发明专利]在光盘表面沉积耐酸碱类金刚石薄膜的装置和方法

摘要

本发明涉及光盘表面覆膜方法，在光盘上沉积耐酸碱类金刚石薄膜的方法，利用中低频介质阻挡高压放电，使用小分子碳氢气体，在较低气压条件下，以光盘作为沉积基底，在光盘表面沉积超硬类金刚石薄膜。本发明利用介质阻挡放电等离子体沉积薄膜，具有其独特的优势：如放电方式简单，能耗低，气体流量低，可实现在绝缘介质上沉积。薄膜对于光驱工作读写激光波长在蓝光和红光均具有＞90％以上透过性。对于镀膜后的光盘进行读写测试，发现薄膜对于光盘正常工作不产生任何影响。本发明有效的提高光盘表面的化学稳定性和机械性能，镀膜后的光盘具有很好的耐酸碱特性。

主权项

1、在光盘上沉积耐酸碱类金刚石薄膜的方法，其特征是：利用中低频介质阻挡高压放电，使用小分子碳氢气体，在较低气压条件下，以光盘作为沉积基底，在光盘表面沉积超硬类金刚石薄膜。