[实用新型]动镜环形干涉仪无效

专利信息
申请号: 200820221797.8 申请日: 2008-10-09
公开(公告)号: CN201314819Y 公开(公告)日: 2009-09-23
发明(设计)人: 陈立武 申请(专利权)人: 中国科学院西安光学精密机械研究所
主分类号: G01B9/02 分类号: G01B9/02;G01D5/26
代理公司: 西安智邦专利商标代理有限公司 代理人: 康 凯
地址: 710119陕西省西*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 实用新型提供一种动镜环形干涉仪,包括第一透镜,分束镜,分束镜将从物方入射的光线分为两路,两路光线包括反射光线和透射光线,反射光线反方向设有探测器,第一透镜设置于分束镜与探测器之间,反射光线光路上设置有双面反射镜,反射光线入射双面反射镜的一面;透射光线经过至少个具有反射能力的光学器件构成的回路入射到双面反射镜的另一面。其解决了现有麦克耳逊干涉仪的动镜对倾斜非常敏感的技术问题。具有对倾斜误差不敏感的优点。
搜索关键词: 环形 干涉仪
【主权项】:
1、一种动镜环形干涉仪,包括第一透镜(1),分束镜(2),所述分束镜(2)将从物方入射的光线分为两路,所述两路光线包括反射光线(3)和透射光线(4),所述反射光线(3)反方向设有探测器(5),所述第一透镜(1)设置于分束镜(2)与探测器(5)之间,其特征在于:所述反射光线(3)光路上设置有双面反射镜(6),所述反射光线(3)入射双面反射镜(6)的一面;所述透射光线(4)经过至少3个具有反射能力的光学器件构成的回路入射到双面反射镜(6)的另一面。
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