[实用新型]单晶硅加料器无效
申请号: | 200820166095.4 | 申请日: | 2008-10-14 |
公开(公告)号: | CN201277809Y | 公开(公告)日: | 2009-07-22 |
发明(设计)人: | 陆昌忠 | 申请(专利权)人: | 浙江华友电子有限公司 |
主分类号: | F27B14/14 | 分类号: | F27B14/14 |
代理公司: | 杭州裕阳专利事务所(普通合伙) | 代理人: | 应圣义 |
地址: | 324300浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 一种单晶硅加料器,包括一筒体,筒体内腔中置有一根具有轴套的中心轴,轴套由径向支撑杆定位在筒体上;所述中心轴下端设有一重锤,重锤向下伸出筒体的下端口,筒体下端口的端口壁上环设有多片合页,重锤上具有一个搭接平面;所述中心轴向上伸出筒体的上端口,中心轴的顶部为连接部,该连接部结构与单晶炉副室中的籽晶重锤连接部的结构相匹配,中心轴连接部下方的轴上设有若干个定位销孔;所述筒体的上端口端面外凸形成一挂沿。利用本加料器,在单晶炉拉制单晶棒过程中也可添加原料,因此,它具有确保足量投料、石英坩埚利用率和成品率高,以及能充分利用单晶棒尾料的优点。 | ||
搜索关键词: | 单晶硅 料器 | ||
【主权项】:
1、一种单晶硅加料器,其特征是:一两端开口直筒状的筒体(5),筒体(5)内腔中置有一根具有轴套(9)的中心轴(3),轴套(9)由径向支撑杆(7)定位在筒体(5)上;所述中心轴(3)下端设有一重锤(1),重锤(1)向下伸出筒体(5)的下端口(51),筒体(5)下端口(51)的端口壁上环设有多片合页(2),重锤(1)上具有一个搭接平面(62),所述搭接平面(62)为水平状态下合页(2)的接纳面;所述中心轴(3)向上伸出筒体(5)的上端口,中心轴(3)的顶部为连接部,该连接部结构与单晶炉副室中的籽晶重锤连接部的结构相匹配,连接部下方的中心轴(3)上设有若干个限止中心轴(3)作轴向移动的定位销孔;所述筒体(5)的上端口端面外凸形成一挂沿(12)。
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