[实用新型]极紫外波段发射效率测量装置

摘要

一种极紫外波段发射效率测量装置，该装置的结构包括：沿极紫外光前进方向依次是铝膜、水平狭缝、第一柱面金镜、第二柱面金镜、平面金镜、竖直狭缝、平场光栅、X射线CCD和计算机，该装置的优点是：采用计算机采集和处理数据，迅速准确；灵敏度高可实现单次测量；成像系统和光栅可有效滤除杂散光，结果精确度高；可单独对5-40纳米波长范围内任意波段的效率进行测量。

主权项

1、一种极紫外波段发射效率测量装置，其特征在于该装置的结构包括：沿极紫外光前进方向依次是铝膜(1)、水平狭缝(2)、第一柱面金镜(3)、第二柱面金镜(4)、平面金镜(5)、竖直狭缝(6)、平场光栅(7)、X射线CCD(8)和计算机(9)，其位置关系如下：由S点发射的极紫外光，经由所述的铝膜(1)、水平狭缝(2)掠入射在第一柱面金镜(3)上，该第一柱面金镜(3)的柱面轴线平行于光学平台，并被反射到第二柱面金镜(4)上，该第二柱面金镜(4)的柱面轴线垂直于所述的光学平台，再由所述的平面金镜(5)反射，经过所述的平场光栅(7)色散后并将一级衍射谱线成像在所述的X射线CCD(8)上，这些部件置于真空中，各元件的位置和参数必须满足一定关系：假设第一柱面金镜(3)到靶点s和X射线CCD(8)的距离分别为u1和v1，第二柱面金镜(4)到靶点s和竖直狭缝(6)的距离分别为u2和v2，所述的平场光栅(7)到竖直狭缝(6)和X射线CCD(8)的距离分别为u3和v3，EUV在第一柱面金镜(3)、第二柱面金镜(4)、平场光栅(7)上的入射角分别为θ1，θ2，θ3，第一柱面金镜(3)、第二柱面金镜(4)、平场光栅(7)的曲率半径为R1、R2、R3，则u1、v1、θ1和u2、v2、θ2必须满足柱面镜斜入射成像公式和几何关系u1+v1＝u2+v2+u3+v3，所述的X射线CCD(8)的输出端接所述的计算机(9)。