[实用新型]防静电离心干燥保护装置及含有这种保护装置的甩干设备无效
| 申请号： | 200820092261.0 | 申请日： | 2008-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN201196523Y | 公开（公告）日： | 2009-02-18 |
| 发明（设计）人： | 赵刚科;蔡华雄 | 申请（专利权）人： | 深圳欧菲光科技股份有限公司 |
| 主分类号： | F26B5/08 | 分类号： | F26B5/08;F26B11/18 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人： | 郑小粤 |
| 地址： | 518106广东省深圳市宝*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种防静电离心干燥保护装置以及含有这种装置的甩干设备。这种保护装置为设有闭合侧壁的金属保护罩，侧壁的高度与放置待甩干基片的清洗架高度适配。保护罩可以是上下贯通的环形、方形，也可以上端封口。这种甩干设备，包含马达、由马达驱动的中心轴以及随同中心轴旋转的基片托盘，还包含一防静电离心干燥保护罩，该保护罩环绕着放置待甩干基片的清洗架设置，且其高度与所述清洗架高度相适配。采用这种防静电离心干燥保护罩，能够防止清洗架边缘的基片在甩干过程中与周边空气摩擦产生静电而吸附灰尘，能够提高基片的合格率，而且制造简单，成本低廉。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 离心 干燥 保护装置 含有 这种 设备 | ||
【主权项】：
1.一种防静电离心干燥保护装置，其特征在于：所述防静电保护装置为设有闭合侧壁的保护罩，所述保护罩侧壁的高度与放置待甩干基片的清洗架高度适配。
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