[实用新型]一种传感器的防水罩有效
| 申请号： | 200820059233.9 | 申请日： | 2008-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN201221953Y | 公开（公告）日： | 2009-04-15 |
| 发明（设计）人： | 王怀锋;刘宇龙;赵铁军;张伟光 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G01D11/26 | 分类号： | G01D11/26;B24B49/12 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈 蘅;李时云 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种传感器的防水罩，传感器可发出光探测信号探测研磨晶圆是否有滑片，该防水罩包括罩体和罩帽，罩体套在传感器上，罩帽盖在罩体上封闭罩体顶部。罩体在对着传感器发出光探测信号的位置开有敞孔。本实用新型的传感器的防水罩通过罩在研磨机台的晶圆滑片探测传感器上可有效阻挡晶圆研磨过程中飞溅的水或研磨液，因此可有效解决水或研磨液对传感器的干扰问题，从而进一步解决晶圆滑片探测传感器的误动作问题，提高传感器的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 传感器 防水 | ||
【主权项】：
1、一种传感器的防水罩，所述传感器可发出光探测信号，其特征在于，所述防水罩包括罩体和罩帽，所述罩体套在所述传感器上，所述罩帽盖在罩体上封闭罩体顶部。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司，未经中芯国际集成电路制造(上海)有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200820059233.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：侧装浮球液位控制器
- 下一篇：一种处于集合状态下有间隙物质的真体积测量系统
