[实用新型]旋转组件有效
| 申请号： | 200820059232.4 | 申请日： | 2008-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN201220227Y | 公开（公告）日： | 2009-04-15 |
| 发明（设计）人： | 王怀锋 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/04 | 分类号： | B08B7/04;B08B1/04;B08B13/00;H01L21/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈 蘅;李时云 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于安装在清洗单片晶圆的清洗槽上的旋转组件，涉及晶圆的清洗装置。所述旋转组件具有数个辊子，所述辊子一端延伸入清洗槽用于承载晶圆，所述旋转组件还包括安装在所述辊子的另一端的数个承载齿轮以及与所述承载齿轮同时啮合的传动齿轮。本实用新型提供的旋转组件采用齿轮传动结构，使得晶圆转动更加平稳；另外，齿轮传动磨损较小，不会产生大量碎屑脱落，提高了清洗的洁净度；齿轮传动磨损小，不易损坏，间接地降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转 组件 | ||
【主权项】：
1.一种旋转组件，用于安装在清洗单片晶圆的清洗槽上，所述旋转组件具有数个辊子，所述辊子一端延伸入清洗槽用于承载晶圆，其特征在于，所述旋转组件还包括安装在所述辊子的另一端的数个承载齿轮以及与所述承载齿轮同时啮合的传动齿轮。
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