[实用新型]一种宽温区、高精度温控装置有效
申请号: | 200820055223.8 | 申请日: | 2008-01-30 |
公开(公告)号: | CN201152945Y | 公开(公告)日: | 2008-11-19 |
发明(设计)人: | 龚岳俊;束剑平;陈杰;卜荣翔 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司 |
主分类号: | G05D23/20 | 分类号: | G05D23/20;G05D23/01;H01L21/00;F25B41/04;F25B41/00 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种宽温区、高精度温控装置,其包含:压缩机制冷单元、三通阀混流循环单元、高精度温度采集单元和PID控制单元。本实用新型提供的宽温区、高精度温控装置,其控温范围宽;可在节能条件下实现高精度温度控制;减小系统滞后性,提高系统响应速度;同时可解决高温工况压缩机吸气温度过高的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 宽温区 高精度 温控 装置 | ||
【主权项】:
1.一种宽温区、高精度温控装置,其特征在于,包含压缩机制冷单元、三通阀混流循环单元、高精度温度采集单元和PID控制单元;所述的压缩机制冷单元包含压缩机;所述的三通阀混流循环单元包含三通阀,其是一可对模拟量控制混比的连续调节器;所述的高精度温度采集单元包含若干高精度温度传感器,分别连接PID控制单元;所述的PID控制单元内设置有可编程逻辑控制系统和PID扩展模块;该PID控制单元内还嵌入高精度温度控制算法,控制三通阀的开度分配比例调节。
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