[发明专利]保持在卡盘工作台上的被加工物的高度位置检测装置

摘要

一种保持在卡盘工作台上的被加工物的高度位置检测装置，其具有：激光光束激励单元；使激光光束的光斑形状形成为环状的环状光斑形成单元；沿第1路径引导光斑形状为环状的激光光束的第1光束分离器；聚光器，其对沿该第1路径引导的激光光束进行聚光，并照射被加工物；设置于第2路径上的针孔遮光器；第2光束分离器，其把通过针孔遮光器的反射光分割为第3路径和第4路径；受光第3路径上的反射光的第1受光元件；受光第4路径上的反射光的第2受光元件；设于第4路径上的受光区域限制单元，限制第2受光元件所受光的反射光的受光区域；以及控制单元，其根据第1受光元件与第2受光元件的受光光量之比，求出被加工物的上表面高度位置。

主权项

1. 一种检测被保持在卡盘工作台上的被加工物的上表面高度位置的高度位置检测装置，其特征在于，该被保持在卡盘工作台上的被加工物的高度位置检测装置具有：激励激光光束的激光光束激励单元；环状光斑形成单元，其使由该激光光束激励单元激励出的激光光束的光斑形状形成为环状；第1光束分离器，其沿第1路径引导通过该环状光斑形成单元使光斑形状形成为环状的激光光束；聚光器，其对沿该第1路径引导的激光光束进行聚光，并照射保持在卡盘工作台上的被加工物；针孔遮光器，其设置于第2路径上，该第2路径是在由卡盘工作台所保持的被加工物上反射的激光光束被该第1光束分离器分割而形成的；第2光束分离器，其把通过该针孔遮光器的反射光分割为第3路径和第4路径；第1受光元件，其受光被该第2光束分离器分割到该第3路径上的反射光；第2受光元件，其受光被该第2光束分离器分割到该第4路径上的反射光；受光区域限制单元，其设于该第4路径上，限制该第2受光元件所受光的反射光的受光区域；以及控制单元，其根据该第1受光元件所受光的光量与该第2受光元件所受光的光量之比，求出保持在卡盘工作台上的被加工物的上表面高度位置。