[发明专利]主要包括全氟烷氧基化合物的科里奥利流量计的制造

摘要

一种用于制造科里奥利流量计的方法，所述流量计用于测量要求超高纯度的处理材料。这是通过由PFA塑料材料构成科里奥利流量计的整个流动通路来实现的，所述材料不会从科里奥利流量计向通过所述流量计流动的处理材料转移离子。

主权项

1.一种用于制造流量计的方法，所述流量计适用于通过接收的处理材料流，该材料流具有超高的纯度，没有由于从所述科里奥利流量计转移到所述处理材料的离子而造成的污染，所述方法包括以下步骤：把一个驱动器固定到流体管装置上；以及把所述流体管装置连接到底座上；把传感器装置连接到所述流体管装置上；所述方法的特征还在于以下步骤：连接所述流体管装置到所述底座上的所述步骤还包括使用由例如全氟烷氧基共聚物(PFA)或者聚四氟乙烯(PTFE)的材料制成的所述流体管装置的步骤，极少有或者没有从所述流体管装置的材料向所述处理材料的离子转移；蚀刻所述流体管装置从而产生适合于连接和固定流量计元件的表面；以及把所述流体管装置的入口端和出口端固定到至少一个处理连接部上，使得形成通过所述流量计的超纯度流动通路。