[发明专利]分压测量方法及分压测量装置有效
| 申请号： | 200810093059.4 | 申请日： | 2008-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN101289736A | 公开（公告）日： | 2008-10-22 |
| 发明（设计）人： | 山本昌裕;小岩崎刚;山西齐;村岸勇夫;吉永光宏 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 徐殿军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 简便地测量真空腔室内部的分压分布的分压测量方法及分压测量装置包括：移动步骤，使真空腔室内具有的测量专用的局部等离子源(9)移动到测量部位；以及测量步骤，经由设在真空腔室的壁部上的供光通过的窗，受光来自局部等离子源产生的等离子的发光，通过分光测量所受光的发光的发光强度，测量真空腔室内的分压分布。 | ||
| 搜索关键词： | 测量方法 测量 装置 | ||
【主权项】：
1、一种分压测量方法，其特征在于，包括：移动步骤，使真空腔室内具有的测量专用的局部等离子源移动到测量部位；以及测量步骤，经由设在上述真空腔室的壁部上的供光通过的窗，受光来自上述局部等离子源产生的等离子的发光，通过分光测量上述发光的发光强度，来测量上述真空腔室内的分压分布。
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