[发明专利]具有批单元传送功能的垂直炉以及相关的传送控制方法

摘要

公开了一种成批传送晶片至垂直炉的系统和方法。该方法包括：接收与推进操作相关的整批信息并将该整批信息存储在与垂直炉相关联的存储器中，其中整批信息标识多个批；从垂直炉的I/O端口将与多个批相关联的多个承载器顺序地传送到承载器保持器；在承载器保持器接收多个承载器中的所有承载器之前，将来自承载器保持器的多个承载器中的至少一个传送到晶片传送台；并从来自晶片传送台的该多个承载器中的至少一个将晶片传送到晶舟。

主权项

1.一种半导体制造系统，其包括：操作员接口服务器，其利于用户指定包括多批的整批、设置相关的整批信息并产生与所述整批信息相关联的控制命令；主计算机，其响应于从所述操作员接口接收的所述控制命令，定义控制制造工序的制法，并产生控制推进操作的命令，所述推进操作基于逐批地传送晶片到垂直炉/从所述垂直炉传送晶片；其中，所述垂直炉包括：I/O端口，其接收与所述多个批相关联的多个承载器；晶片承载器传送器，其从所述I/O端口将所述多个承载器顺序地传送到承载器保持器；晶片传送台，其从所述承载器保持器接收所述多个承载器；和晶片传送器，其从布置在所述晶片传送台中的所述多个承载器将晶片传送到晶舟，其中，在从所述I/O端口将所述多个承载器传送到所述承载器保持器期间，从所述承载器保持器将所述多个承载器传送到所述晶片传送台和从布置在所述晶片传送台中的所述承载器将所述晶片传送到所述晶舟同时发生。