[发明专利]放射线检测元件及其制造方法有效
| 申请号： | 200810092361.8 | 申请日： | 1998-02-12 |
| 公开（公告）号： | CN101285888A | 公开（公告）日： | 2008-10-15 |
| 发明（设计）人： | 本目卓也;高林敏雄;佐藤宏人 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | G01T1/20 | 分类号： | G01T1/20;G01T1/24 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 刘春成 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种放射线元件及其制备方法。本发明的放射线元件的制备方法中，将受光元件(2)二维排列在基板上，把用信号线(3)与各行或各列受光元件(2)电连接的焊盘(4)排列在基板(1)的外周边上，在受光元件(2)和信号线(3)上设置保护用的钝化膜(5)，形成受光元件阵列(6)。将CsI柱状晶体的闪烁器(7)沉积在该受光元件阵列(6)的受光面上，并在其上沉积Al无机膜(9)夹在Parylene制的有机膜(8)、(10)之间作为保护膜(11)。在使焊盘(4)露出的位置把保护膜(11)的外周切开，并用覆盖树脂(12)密合在钝化膜(5)上。 | ||
| 搜索关键词： | 放射线 检测 元件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种放射线检测元件，包括：受光元件阵列，其多个受光元件在基板上呈一维或二维排列形成其受光单元，并将与所述受光单元的各行或各列的所述受光元件电连接的多个焊盘配置在所述受光单元的外部；闪烁器层，该闪烁器层在所述受光元件上层积形成，把放射线转换成可见光；放射线可通过的耐湿保护膜，它由至少包含有机膜和在其上沉积的无机膜的两层以上的多层膜组成，在覆盖了闪烁器层的同时使所述受光元件阵列的所述焊盘部分露出；以及覆盖树脂，沿所述耐湿保护膜和受光元件阵列露出部分的边界(即边缘)用所述覆盖树脂涂敷耐湿保护膜，使所述耐湿保护膜的边缘密合在所述受光元件阵列上。
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