[发明专利]获得透明导电薄膜的方法无效
| 申请号： | 200810092048.4 | 申请日： | 2008-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN101276079A | 公开（公告）日： | 2008-10-01 |
| 发明（设计）人： | V·G·拉姆伯蒂尼;N·利皮拉;S·伯纳德;V·格拉索 | 申请（专利权）人： | C.R.F.阿西安尼顾问公司 |
| 主分类号： | G02F1/133 | 分类号： | G02F1/133;G09F9/00;H01L21/00;H01L21/02;H01B13/00;H01B5/14;G03F7/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 邹雪梅;韦欣华 |
| 地址： | 意大利奥*** | 国省代码： | 意大利;IT |
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| 摘要： | 一种获得透明导电薄膜(2a)的方法，包括步骤：提供透明衬底(1)，在透明衬底(1)上沉积厚度不大于5μm的导电薄膜(2)，以及以衬底(1)上导电薄膜(2)的多个残留部分限定一种图案的方式，从衬底(1)表面的多个部分除去完整厚度的导电薄膜(2)，该图案由宽度在10nm和2μm之间的线条形成，相邻线条的距离在10nm和2μm之间，所述图案被预先确定，以获得与所需光学透射比相对应的满的空间与空的空间的比率。 | ||
| 搜索关键词： | 获得 透明 导电 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
1.一种获得透明导电薄膜的方法，其特征在于该方法包括步骤：-提供透明衬底(1)；-在透明衬底(1)上沉积厚度不大于10μm的导电薄膜(2)；以及-以衬底上导电薄膜(2)的多个残留部分(2a)限定一种图案的方式，从衬底(1)表面的多个部分除去完整厚度的导电薄膜(2)，该图案由宽度在10nm和2μm之间的线条形成，相邻线条的距离在10nm和2μm之间，所述图案被预先确定，以获得与所需光学透射率相对应的满的空间与空的空间的比率。
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