[发明专利]光刻胶组合物及使用其形成光刻胶图案的方法有效
| 申请号： | 200810091113.1 | 申请日： | 2008-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN101281369A | 公开（公告）日： | 2008-10-08 |
| 发明（设计）人： | 朴廷敏;郑斗喜;李羲国;尹赫敏;丘冀赫 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社;东进瑟弥侃株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 宋莉 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及光刻胶组合物及使用其形成光刻胶图案的方法，该光刻胶组合物包括约0.5－约20重量份的光致产酸剂、约10－约70重量份的含有羟基的酚醛清漆树脂、约1－约40重量份的交联剂、以及约10－约150重量份的溶剂，其中该交联剂包括烷氧基甲基三聚氰胺化合物。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 组合 使用 形成 图案 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光刻胶组合物，包括：0.5-20重量份的光致产酸剂，该光致产酸剂包括由以下化学式1表示的第一化合物和/或由以下化学式2表示的第二化合物；10-70重量份的含有羟基的酚醛清漆树脂；1-40重量份的交联剂，该交联剂包括烷氧基甲基三聚氰胺化合物；以及10-150重量份的溶剂，<化学式1>![]()
<化学式2>![]()
其中R1、R2和R3独立地表示具有1-4个碳原子的烷基。
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