[发明专利]生成微机械结构的方法有效
| 申请号： | 200810090384.5 | 申请日： | 2008-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN101279712A | 公开（公告）日： | 2008-10-08 |
| 发明（设计）人： | 丹尼斯·容;克里斯蒂安·德拉伯;提诺·詹德纳;哈拉尔德·琛克;托马斯·克洛泽;亚里桑德勒·沃尔特尔 | 申请（专利权）人： | 弗劳恩霍夫应用研究促进协会 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B7/02;B81B5/00;G02B26/10 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 王新华 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 一种用于生成微机械结构的方法，首先在基片中形成二维结构。此二维结构通过力的作用从基片偏转并被固定在偏转状态。 | ||
| 搜索关键词： | 生成 微机 结构 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制造微机械结构的方法，包括步骤：在基片(10)内形成(2)二维结构(10)；通过力的作用使所述二维结构(12)从基片平面偏转(4)；和将所述二维结构(12)固定(6)在偏转状态。
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