[发明专利]凹槽形成方法、凹槽形成装置及用于凹槽的形成材料

摘要

本发明中，片材被嵌设在用作形成凹槽的目标的材料内，该片材具有与所述材料的物理特性不同的第一物理特性，并且具有与要形成的凹槽的平面形状相同的平面形状。然后，利用切割工具，将所述材料在深度方向从该材料的第一表面切割。同时，利用检测器，检测切割部的最深部分的物理特性，当该检测的特性与所述第一物理特性相等时，终止在深度方向的切割。还在大体平行于所述第一表面的水平方向切割所述材料，以形成沟槽，由此，将所述第一表面分割为具有与所述平面形状相同的形状的第一区，和作为另一区的第二区。最后，将在所述第一区内在所述片材和所述第一表面之间的材料剥离。

主权项

1.一种凹槽形成方法，包括：形成其中布置有片材的材料，所述片材具有与要形成的凹槽的平面形状相同的平面形状并且具有第一物理特性，所述材料具有与所述第一物理特性不同的第二物理特性；利用预定的切割工具，在深度方向切割所述材料，该深度方向是从所述材料的第一表面朝向所述材料的面向所述第一表面的第二表面的方向；利用预定的检测器，检测第三物理特性，该第三物理特性是切割部的最深部分的物理特性；当所述第三物理特性等于所述第一物理特性时，终止在所述深度方向的所述切割；在大体平行于所述第一表面的水平方向切割所述材料以形成沟槽，由此将所述第一表面分割为具有与所述平面形状相同的形状的第一区，和不被包括在所述第一区内的第二区；以及剥离在所述第一区内在所述片材和所述第一表面之间的材料。