[发明专利]图案形成方法、液滴喷出装置及电光装置

摘要

本发明提供一种使因换行扫描而在不同定时形成的膜图案的交界连续的图案形成方法、液滴喷出装置及电光装置。基于在先喷头的主扫描，在先喷嘴(NF)描绘在先路径(RF)，基于在后喷头的换行扫描，在后喷嘴(NL)描绘在后路径(RL)。在在先路径(RF)与在后路径(RL)重叠的重叠路径(RO)中，在先喷头从在先喷嘴(NF)中选择多个在先选择喷嘴(NFs)来喷出在先液滴。另外，在后喷头选择不位于在先喷嘴(NFs)的扫描路径上的在后喷嘴(NL)作为在后选择喷嘴(NLs)来喷出在后液滴。

主权项

1、一种图案形成方法，通过使由沿一个方向排列的多个喷嘴构成的喷嘴组和基板沿着主扫描方向多次相对移动，并从所述喷嘴朝向所述基板喷出液滴，由此在所述基板上形成图案，每当使所述喷嘴组和所述基板沿着所述主扫描方向相对移动时，都按照当从所述主扫描方向观察时在先喷嘴组的一侧与在后喷嘴组的另一侧重叠的方式，使所述喷嘴组和所述基板沿着副扫描方向相对移动，并且，在使所述在先喷嘴组和所述基板沿着所述主扫描方向相对移动时，从与所述在后喷嘴组重叠的所述在先喷嘴组中选择多个在先喷嘴，使所述在先喷嘴的每一个喷出液滴，在使所述在后喷嘴组和所述基板沿着所述主扫描方向相对移动时，从与所述在先喷嘴组重叠的所述在后喷嘴组中选择位于所述在先喷嘴之间的多个在后喷嘴，使所述在后喷嘴的每一个喷出液滴。