[发明专利]具有宽动态范围的灵敏硅麦克风

摘要

一种硅麦克风包括其上集成了四个原声换能器(11A，11B，11C，11D)的硅麦克风装置(10)、集成电路装置(20a)、以及用于在其中限定的内部空间中容纳这些装置(10，20a)的包装(30a)，并且四个原声换能器具有不同的灵敏度值，因此具有不同的动态范围值；模拟原声信号(S1，S2，S3，S4)被从四个原声换能器(11A，11B，11C，11D)提供到集成电路装置(20a)并被转换为数字原声信号(DS1，DS2，DS3，DS4)；相对于从具有最低灵敏度的原声换能器(11D)输出的数字原声信号(S4)来标准化从具有相对高灵敏度的原声换能器(11A，11B，11C)输出的数字原声信号(S1，S2，S3)，并且根据声波的声压而将标准化的数字原声信号选择性地形成为复合原声信号(S5)，使得扩展动态范围而不牺牲低声压范围中的高灵敏度。

主权项

1.一种半导体麦克风(1a；1Aa；1b；1c；1d；1e；1f)，连接到信号处理器(20a；20Aa；20b)，用于将声波转换为多个中间原声信号(S1，S2，S3，S4，DS1，DS2，DS3，DS4)，所述信号处理器(20a；20Aa，20b；20f)对所述多个中间原声信号(S1，S2，S3，S4，DS1，DS2，DS3，DS4)执行信号处理以便产生复合原声信号(S5；S5a；S5b；S5e)，所述半导体麦克风(1a；1Aa；1b；1c；1d；1e)包括用于将所述声波转换为所述中间原声信号(S5；S5a；S5b；S5e)的原声换能器单元(10；10A/10C)，其特征在于还包括外壳(30a；30Aa；30b)，具有内部空间，并且被形成有允许所述声波进入所述内部空间的音孔(34a；34Aa；34bA，34bB，34bC，34bD)，并且其特征在于所述原声换能器单元(10；10A/10C)包括多个原声换能器(11A，11B，11C，11D；11A’，11C’)，所述多个原声换能器(11A，11B，11C，11D；11A’，11C’)被容纳在所述内部空间中，具有彼此不同的灵敏度的各个值和彼此不同的所述声波的饱和声压的各个值，分别将所述声波转换为所述多个中间原声信号(S1，S2，S3，S4，DS1，DS2，DS3，DS4)，并且向所述信号处理器(20a；20Aa；20b)提供所述多个中间原声信号(S1，S2，S3，S4，DS1，DS2，DS3，DS4)。