[发明专利]使用旋转光学元件的高速高效率光学图案生成器无效
申请号: | 200810080417.8 | 申请日: | 2004-12-21 |
公开(公告)号: | CN101256282A | 公开(公告)日: | 2008-09-03 |
发明(设计)人: | 伦纳德·C·迪拜尼迪克蒂斯;戴维·C·纳波斯;乔治·弗兰基尼斯 | 申请(专利权)人: | 雷利恩特技术公司 |
主分类号: | G02B26/08 | 分类号: | G02B26/08;G02B26/10 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 | 代理人: | 王茂华 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明涉及一种光学图案发生器,其包括一个或更多个多面旋转光学元件,所述光学元件引入对旋转不敏感的偏移。生成偏移的部件围绕光学元件的旋转轴旋转对称。因而随着光学元件旋转,偏移部件的效果不变。此外,可以将旋转光学元件设计为彼此抵消不希望的光学效果。 | ||
搜索关键词: | 使用 旋转 光学 元件 高速 高效率 图案 生成器 | ||
【主权项】:
1.一种用于生成沿偏移方向偏移的图阵列的光学图案生成器,该图案生成器包括:第一多面旋转光学元件,其具有第一旋转轴和围绕该第一旋转轴旋转的多个不同面,其中,随着每个面旋转通过入射光束,每个面使得入射光束从该图阵列中生成一幅图;其中图阵列包括扫描线的阵列,以及所述扫描线补偿目标的相对移动。
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