[发明专利]使用旋转光学元件的高速高效率光学图案生成器无效

专利信息
申请号: 200810080417.8 申请日: 2004-12-21
公开(公告)号: CN101256282A 公开(公告)日: 2008-09-03
发明(设计)人: 伦纳德·C·迪拜尼迪克蒂斯;戴维·C·纳波斯;乔治·弗兰基尼斯 申请(专利权)人: 雷利恩特技术公司
主分类号: G02B26/08 分类号: G02B26/08;G02B26/10
代理公司: 北京市金杜律师事务所 代理人: 王茂华
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 发明涉及一种光学图案发生器,其包括一个或更多个多面旋转光学元件,所述光学元件引入对旋转不敏感的偏移。生成偏移的部件围绕光学元件的旋转轴旋转对称。因而随着光学元件旋转,偏移部件的效果不变。此外,可以将旋转光学元件设计为彼此抵消不希望的光学效果。
搜索关键词: 使用 旋转 光学 元件 高速 高效率 图案 生成器
【主权项】:
1.一种用于生成沿偏移方向偏移的图阵列的光学图案生成器,该图案生成器包括:第一多面旋转光学元件,其具有第一旋转轴和围绕该第一旋转轴旋转的多个不同面,其中,随着每个面旋转通过入射光束,每个面使得入射光束从该图阵列中生成一幅图;其中图阵列包括扫描线的阵列,以及所述扫描线补偿目标的相对移动。
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