[发明专利]具有“回”型柱状体振子磁致伸缩压电陀螺仪

摘要

本发明公开一种微机电技术领域的具有“回”型柱状体振子磁致伸缩压电陀螺仪，由磁致伸缩振子和驱动电极，输出电极，模态检测电极组成。振子材料为压电材料，为具有正方形通孔的“回”型柱状体。所有电极关于磁致伸缩振子对称分布。利用磁致伸缩振子在一定频率下的特殊模态下的振动作为工作状态，在两个方向上均有磁致伸缩振子的上下表面的特殊位置在运动方向相反。当外界有角速度时，运动方向相反的位置产生方向相反柯氏力，使磁致伸缩振子拉伸或压缩，产生电势，通过检测输出电极上的电势检测外界双轴的角速度。本发明结构简单，抗冲击性强，不需要真空封装，具有方便固定的节点，双轴检敏感，加工工艺简单，不需要高速转动节省功耗。

主权项

1、一种具有“回”型柱状体振子磁致伸缩压电陀螺仪，包括磁致伸缩振子、上表面压电薄膜、下表面压电薄膜、左下侧驱动线圈、右上侧驱动线圈、上表面压电薄膜上侧输出电极、上表面压电薄膜右侧输出电极、上表面压电薄膜下侧输出电极、上表面压电薄膜左侧输出电极、下表面压电薄膜上侧输出电极、下表面压电薄膜右侧输出电极、下表面压电薄膜下侧输出电极、下表面压电薄膜左侧输出电极，其特征在于，所述磁致伸缩振子为具有正方形通孔的“回”型柱状体，具有两个“回”型表面，这两个“回”型表面相互平行，其中一个“回”型表面为磁致伸缩振子的上表面，则另一个“回”型表面为磁致伸缩振子的下表面，上表面压电薄膜、下表面压电薄膜分别位于磁致伸缩振子上表面、下表面上，上表面压电薄膜、下表面压电薄膜具有与磁致伸缩振子相同的“回”型表面；上表面压电薄膜与磁致伸缩振子接触的回型表面为上表面压电薄膜下表面，则上表面压电薄膜另一回型表面为上表面压电薄膜上表面，下表面压电薄膜与磁致伸缩振子接触的回型表面为下表面压电薄膜上表面，则下表面压电薄膜另一回型表面为下表面压电薄膜下表面，上表面压电薄膜上表面外框正方形上侧的边为上表面压电薄膜第一边，上表面压电薄膜上表面外框正方形右侧的边为上表面压电薄膜第二边，上表面压电薄膜上表面外框正方形下侧的边为上表面压电薄膜第三边，上表面压电薄膜上表面外框正方形左侧的边为上表面压电薄膜第四边，下表面压电薄膜下表面外框正方形上侧的边为下表面压电薄膜第一边，下表面压电薄膜下表面外框正方形右侧的边为下表面压电薄膜第二边，下表面压电薄膜下表面外框正方形下侧的边为下表面压电薄膜第三边，下表面压电薄膜下表面外框正方形左侧的边为下表面压电薄膜第四边；上表面压电薄膜第一边的中点与上表面压电薄膜第三边的中点的连线为上表面压电薄膜第一中心线，上表面压电薄膜第二边的中点与上表面压电薄膜第四边的中点的连线为上表面压电薄膜第二中心线，下表面压电薄膜第一边的中点与下表面压电薄膜第三边的中点的连线为下表面压电薄膜第一中心线，下表面压电薄膜第二边的中点与下表面压电薄膜第四边的中点的连线为下表面压电薄膜第二中心线；所述左下侧驱动线圈与右上侧驱动线圈位于上表面压电薄膜上表面外框正方形的一条斜对角线上，上表面压电薄膜上侧输出电极与上表面压电薄膜下侧输出电极关于上表面压电薄膜第二中心线对称分布、位于上表面压电薄膜第一中心线上，上表面压电薄膜右侧输出电极、上表面压电薄膜左侧输出电极关于上表面压电薄膜第一中心线对称分布、位于上表面压电薄膜第二中心线上，下表面压电薄膜上侧输出电极与下表面压电薄膜下侧输出电极关于下表面压电薄膜第二中心线对称分布、位于下表面压电薄膜第一中心线上，下表面压电薄膜右侧输出电极与下表面压电薄膜左侧输出电极关于下表面压电薄膜第一中心线对称分布、位于下表面压电薄膜第二中心线上；所述上表面压电薄膜上侧输出电极与下表面压电薄膜上侧输出电极的连线、上表面压电薄膜右侧输出电极与下表面压电薄膜右侧输出电极的连线、上表面压电薄膜下侧输出电极与下表面压电薄膜下侧输出电极的连线、上表面压电薄膜左侧输出电极与下表面压电薄膜左侧输出电极的连线均与磁致伸缩振子的上下表面压电薄膜垂直。