[发明专利]高分辨率外差激光干涉系统及提高分辨率的方法

摘要

本发明提供一种高分辨率外差激光干涉系统及提高分辨率的方法，其包括：产生测量时使用的激光束，经过分光片，分成透射光和反射光，透射光经第三四分之一波片后射到可动平面反射镜上反射回第一测量光，反射光经第二四分之一波片后射到第二参考平面反射镜上反射回第一参考光，所述第一测量光和第一参考光经干涉仪的多次透射和反射，形成各自的出射光，出射光被信号处理单元接受，通过采用不同数量的角锥棱镜，控制测量光束在干涉仪与可动平面反射镜之间的往返次数，从而实现提高分辨率的目的。

主权项

1.一种高分辨率外差激光干涉系统，包括激光器、干涉仪和接收器，其特征在于所述干涉仪包括：第一偏振分光片和第二偏振分光片，设置于所述激光器的输出光路上，所述第一偏振分光片和所述第二偏振分光片紧挨在一起；第一四分之一波片和第一参考平面反射镜，依次放置于所述第一偏振分光片的反射光光路上；第二四分之一波片和第二参考平面反射镜，依次放置于所述第二偏振分光片的反射光路上；第三四分之一波片和可动平面反射镜，依次放置于所述第一偏振分光片和所述第二偏振分光片的出射光路上；至少一个角锥棱镜，放置于所述第一偏振分光片和所述第二偏振分光片和所述激光器之间。