[发明专利]一种电泳复合沉积制备铁电、介电厚膜的方法无效
申请号: | 200810033722.1 | 申请日: | 2008-02-20 |
公开(公告)号: | CN101234896A | 公开(公告)日: | 2008-08-06 |
发明(设计)人: | 翟继卫;张玲 | 申请(专利权)人: | 同济大学 |
主分类号: | C04B35/468 | 分类号: | C04B35/468;C04B35/47;C04B35/622 |
代理公司: | 上海光华专利事务所 | 代理人: | 许亦琳;余明伟 |
地址: | 200092上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及铁电、介电厚膜制备方法。公开了一种钛酸锶钡铁电、介电厚膜的制备方法,为将摩尔比为(1-4)∶(4-1)的BaTiO3粉体和SrTiO3粉体电泳沉积后经高温热处理制得钛酸锶钡铁电、介电厚膜。本发明制备钛酸锶钡铁电、介电厚膜成本低、成膜快、组分易于调整、适宜大规模制膜。 | ||
搜索关键词: | 一种 电泳 复合 沉积 制备 介电厚膜 方法 | ||
【主权项】:
1.一种钛酸锶钡铁电、介电厚膜的制备方法,为将摩尔比为(1-4)∶(4-1)的BaTiO3 粉体和SrTiO3粉体电泳沉积后经高温热处理制得钛酸锶钡铁电、介电厚膜。
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