[发明专利]全自动各规格晶圆测试及判别装置无效
| 申请号： | 200810023657.4 | 申请日： | 2008-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN101261307A | 公开（公告）日： | 2008-09-10 |
| 发明（设计）人： | 单晔;孙盘泉;董晓清;戴京东;陈仲宇 | 申请（专利权）人： | 无锡市易控系统工程有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;H01L21/66 |
| 代理公司： | 无锡市大为专利商标事务所 | 代理人： | 曹祖良 |
| 地址： | 214028江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种可对各规格晶圆进行测试及判别、使得晶圆测试的操作结果符合晶圆的产品标准的全自动各规格晶圆测试及判别装置，按照本发明提供的技术方案，在机架上设置置片及数片装置，在置片及数片装置一侧的机架上设有晶圆传输装置，在晶圆传输装置一侧设有与其配合的晶圆测试平台装置，本发明使用时效率高、准确性好，适用于半导体行业晶圆测试的需要。 | ||
| 搜索关键词： | 全自动 规格 测试 判别 装置 | ||
【主权项】：
1、一种全自动各规格晶圆测试及判别装置，包括设置在机架(4)上的置片及数片装置(1)，其特征是：在置片及数片装置(1)一侧的机架(4)上设有晶圆传输装置(2)，在晶圆传输装置(2)一侧设有与其配合的晶圆测试平台装置(3)，所述晶圆传输装置(2)包括在旋转轴(201)上设置的转盘(202)，转盘(202)上设有支架(203)，在支架(203)上横向架设若干根滑轨(204)，在滑轨(204)上滑动连接取片钳(205)，在取片钳(205)下方设有升降板(206)及其升降驱动装置，升降板(206)和固定设置的导杆(207)滑动连接，在升降板(206)上转动连接有检测转轴(208)，检测转轴(208)的顶端部设有吸盘装置(209)，检测转轴(208)与其转动驱动装置相连；所述晶圆测试平台装置(3)包括在底架(302)上设置的横向直线导轨(305)，横向直线导轨(305)上设有与其滑动连接的底板(309)，在底架(304)上设有底板(309)的滑动驱动装置，在底板(309)上设有与横向直线导轨(305)垂直的纵向直线导轨(312)，纵向直线导轨(312)上滑动连接有支承板(314)及其滑动驱动装置，支承板(314)上设有晶圆吸附及卸落装置(6)，在晶圆吸附及卸落装置(6)的上方铰接有探针架(301)，在晶圆吸附及卸落装置(6)一侧的支架(304)上设有光学定位识别装置的安装槽(303)。
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