[发明专利]一种局部为三维微结构的金属模具的复合加工方法无效
| 申请号： | 200810012422.5 | 申请日： | 2008-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN101327563A | 公开（公告）日： | 2008-12-24 |
| 发明（设计）人： | 刘冲;杜立群;王立鼎;王敏杰;宋满仓;刘军山;刘文涛;莫顺培 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | B23P15/24 | 分类号： | B23P15/24;B23H9/02 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心 | 代理人： | 侯明远 |
| 地址： | 116024辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种局部为三维微结构的金属模具的复合加工方法，本发明属于微细加工技术领域。其特征是结合准LIGA和微细电火花两种微细加工技术，解决了局部是三维，其余部分是二维的复杂微结构的金属模具的加工问题。技术方案如下：基于准LIGA工艺在金属基板上制作平面二维微结构；根据微细电火花加工方式，制作工具电极；对二维微结构上的指定位置进行微细电火花修形，得到三维微结构。本发明的效果和益处是模具上二维微结构的加工精度高、表面质量好；可以在指定区域内对二维微结构进行修形，得到斜面、阶梯和任意曲面等三维结构；模具的材料是金属，它的强度高，寿命长。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 局部 三维 微结构 金属 模具 复合 加工 方法 | ||
【主权项】：
1.一种局部为三维微结构的金属模具的复合加工方法，由准LIGA工艺和微细电火花加工两种技术组成，其特征在于：所述的三维微结构(3)的形状是斜面、阶梯或曲面，工艺流程如下：(一)应用准LIGA工艺在模具基底(1)上制作侧壁垂直的二维微结构(2)；二维微结构(2)的材料是镍、铜或合金；模具基底(1)是金属平板，材料是镍、铜或合金；准LIGA工艺过程中，旋涂的光刻胶是SU-8胶；二维微结构(2)直接电铸在模具基底上，共同构成模具的整体；(二)应用微细电火花加工方式，制作工具电极(4)，工具电极(4)的形状和所要获得的三维微结构(3)的形状一致；(三)用微细电火花技术对二维微结构(2)上的指定部位进行修形，得到三维微结构(3)；放电加工之前，将工具电极(4)与二维微结构上的指定部位对准。
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