[发明专利]清洁系统以及清洁一板件的方法有效
| 申请号： | 200810001294.4 | 申请日： | 2008-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN101486037A | 公开（公告）日： | 2009-07-22 |
| 发明（设计）人： | 徐正贤;蔡志福 | 申请（专利权）人： | 南亚电路板股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;B65H5/06 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 潘培坤;郑特强 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种清洁系统以及清洁一板件的方法。清洁系统用以清洁一板件。清洁系统包括一输送装置以及一除尘机构。输送装置包括一主体以及多个滚动轴，滚动轴以可旋转的方式平行设置于主体上。除尘机构设置于主体上，当板件置放于滚动轴上时，通过滚动轴的转动可输送板件，当板件通过除尘机构时，板件与除尘机构接触以进行除尘。清洁一板件的方法包括提供一输送装置；提供一除尘机构，设置于输送装置上；将板件置放于输送装置上；转动输送装置的滚动轴移动板件使板件通过除尘机构，且当板件通过除尘机构时，板件与除尘机构接触以进行除尘。该清洁系统可除去板边的异物或灰尘，因此当板件在进行光罩制程时，可大幅降低损伤光罩的可能性，提高制程的合格率。 | ||
| 搜索关键词： | 清洁 系统 以及 一板件 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种清洁系统，用以清洁一板件，其中该板件具有一第一侧边、一第二侧边、一第三侧边以及一第四侧边，包括：一输送装置，包括一主体以及多个滚动轴，以可旋转的方式平行设置于该主体上；以及一除尘机构，设置于该主体上；其中当该板件置放于所述滚动轴上时，通过所述滚动轴的转动以输送该板件，当该板件通过该除尘机构时，该板件与该除尘机构接触以进行除尘。
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