[发明专利]在带状载体上连续沉积涂层的方法和设备

摘要

本发明特别涉及在带状载体上连续沉积涂层的方法，其中涂层厚度取决于各种传动器的条件。本发明的方法包括第一预先阶段，该阶段包括开发预调整模型，第二预先阶段，该阶段包括开发调整模型，中间预调整阶段(16)，在此过程中静态调整传动器，测量涂层厚度的步骤(21)、和调整步骤(20)，在此过程中基于调整模型通过预测性控制动态控制传动器，以降低涂层测得厚度与所述厚度目标值之间的任何可能的差异。

主权项

1.在具有确定宽度的带状载体(SUPP)上连续沉积涂层(REV)的方法，同时载体表面上的该涂层厚度朝至少一个目标值收敛，该方法包括沉积操作，在此过程中在包含一组受各含至少一个分量的分别的控制信号(18，23)控制的传动器(61、62；91、92；101、102；111-11x；121-12x)的装置中沿与载体宽度垂直的纵向走带方向传送该载体(SUPP)，每个传动器适合根据其收到的控制信号作用于沿载体宽度的涂层厚度，其特征在于其至少包含：-第一预先建模阶段，其在沉积操作的上游使用并包括开发预调整模型，其包括，针对沿载体宽度分布的一组点中的各个点和针对每个传动器，将该点处的涂层厚度与提供给该传动器的控制信号的至少一个分量值相联系的定量关系；-第二预先建模阶段，其在沉积操作的上游使用并包括开发调整模型，其包括，针对所述组的点中的各个点和针对每个传动器，将该点处的涂层厚度变化与提供给该传动器的控制信号的至少一个分量的值的变化相联系的定量关系；-中间预调整步骤，其在沉积操作上游或在沉积操作开始时使用(16)并包括如下操作：根据预调整模型和所述组的点中各点处的涂层厚度的目标值向传动器发送控制信号；-测量步骤，其在沉积操作过程中使用(22)并包括如下操作：处理所述组的点中各点处的涂层厚度的测量结果；和-调整步骤，其在沉积操作过程中在预调整步骤后使用(20)并包括如下操作：向传动器发送各自的控制信号，该信号已通过基于调整模型和成本函数的预测性控制进行处理，所述成本函数考虑所述该组的点中各点处的厚度目标值与测量值之间的任何可能的误差。