[实用新型]一种半导体闭管扩散用石英管的清洗装置

摘要

本实用新型提供一种半导体闭管扩散用石英管的清洗装置，包括：一带支架脚的上部开口清洗筒，该清洗筒的底部设有第一台阶用于活动放置一底盘，该底盘均匀地设有多个与石英管底部相适配的凹孔和多个第一透水孔，清洗筒中部设有第二台阶用于活动放置一托盘，该托盘也均匀地设有多个与所述凹孔相对应的通孔和多个第二透水孔，凹孔和通孔使多只待清洗的细长石英管开口向上地直立于开口清洗筒内；一底部带多个细长插管的去离子水容器活动置放于所述开口清洗筒的上部边缘上，该容器的每个细长插管可对应地插入于清洗筒内的各细长石英管内，使去离子水顺畅地注满细长石英管后溢出，由第一透水孔和第二透水孔向下排出至清洗筒外。清洗效率高，清洗时间短。

主权项

1、一种半导体闭管扩散用石英管的清洗装置，其特征在于，包括：一带支架脚(11)的上部开口清洗筒(1)，该清洗筒的底部设有第一台阶(14)用于活动放置一底盘(2)，该底盘均匀地设有多个与石英管底部相适配的凹孔(21)和多个第一透水孔(22)，所述清洗筒中部设有第二台阶(15)用于活动放置一托盘(3)，该托盘也均匀地设有多个与所述凹孔(21)相对应的通孔(31)和多个第二透水孔(32)，所述凹孔(21)和通孔(31)使多只待清洗的细长石英管(5)开口向上地直立于所述开口清洗筒(1)内；一底部带多个细长插管(41)的去离子水容器(4)活动置放于所述开口清洗筒(1)的上部边缘(12)上，该容器的每个细长插管(41)可对应地插入于清洗筒(1)内的各细长石英管(5)内，使去离子水顺畅地注满细长石英管(5)后溢出，由第一透水孔(22)和第二透水孔(32)向下排出至清洗筒(1)外。