[实用新型]光罩盒及光罩传送盒有效
| 申请号： | 200720150387.4 | 申请日： | 2007-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN201097111Y | 公开（公告）日： | 2008-08-06 |
| 发明（设计）人： | 李柏欣 | 申请（专利权）人： | 家登精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 | 代理人： | 高翔 |
| 地址： | 台湾省台北*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型的光罩盒，用于避免环境中微粒对光罩造成污染，以及防止电荷累积产生的静电放电破坏。此光罩盒由两盖体所组成；其中至少一个盖体的材料为高分子材质搀杂金属，此金属可以是不锈钢丝、可导电的金属丝或金属微粒。 | ||
| 搜索关键词： | 光罩盒 传送 | ||
【主权项】：
1. 一种光罩盒，包括：第一盖体；以及第二盖体，与第一盖体组合形成内部空间，可容置至少一个光罩，其特征在于其中形成该第一或第二盖体的材料为高分子材质掺杂金属。
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