[实用新型]具有自检功能的交、直流混合起辉低温等离子体灭菌装置

摘要

一种具有自检功能的交、直流混合起辉低温等离子体灭菌装置，其金属容器一端有金属盖门等，金属容器侧端与金属盖门之间有密封圈；金属容器内壁上设有绝缘支撑块、射频电极、直流电极等；绝缘支撑块内端固接有筛网状金属天线，其与射频电极电连接；光敏传感器位于金属容器与筛网状金属天线之间；金属容器中心部设有金属层板，金属层板经绝缘支架与金属容器内壁固接；金属容器通过真空波纹管与真空泵贯通连接；金属容器内壁上的射频电极顺序与金属容器外的自适应射频耦合器、射频电源电连接；直流电极与金属容器外的直流电源电连接；程序控制器位于金属容器外。本实用新型结构简单，灭菌彻底，时间短，无残留，耗能低，金属和非金属器械均适用。

主权项

1.一种具有自检功能的交、直流混合起辉低温等离子体灭菌装置，包括金属容器、筛网状金属天线、真空泵、绝缘支撑块、金属层板、等离子电源、自适应射频耦合器、真空计、内部温度传感器、湿度传感器、过氧化氢储藏瓶、蠕动泵、液位传感器、硅胶导管、过氧化氢挡板、信号线、程序控制器；其特征在于：金属容器一端有金属盖门，金属盖门设有观察窗、防压行程开关，金属容器侧端与金属盖门之间有密封圈；金属容器内壁上设有绝缘支撑块、射频电极、直流电极、真空计、内部温度传感器、湿度传感器、光敏传感器；绝缘支撑块内端固接有筛网状金属天线，筛网状金属天线与射频电极电连接；筛网状金属天线至少有一片，其形状与金属容器内壁相适配，并与金属容器内壁的间距为5mm～30mm，光敏传感器位于金属容器与筛网状金属天线之间；金属容器中心部设有金属层板，金属层板为筛网状金属天线所包围，金属层板经绝缘支架与金属容器内壁固接；金属容器通过真空波纹管与真空泵贯通连接，通过硅胶导管与过氧化氢储藏瓶贯通连接，硅胶导管上设有蠕动泵；过氧化氢储藏瓶内有液位传感器，硅胶导管在金属容器内的端口所对筛网状金属天线上的部分有过氧化氢挡板；金属容器内壁上的射频电极顺序与金属容器外的自适应射频耦合器、射频电源电连接；直流电极与金属容器外的直流电源电连接；程序控制器位于金属容器外，经信号线与液位传感器电连接，并分别与真空泵、射频电源、直流电源、自适应射频耦合器、真空计、内部温度传感器、湿度传感器、光敏传感器和防压行程开关电连接。