[实用新型]一种精密运动平台有效
| 申请号： | 200720076165.2 | 申请日： | 2007-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN201097109Y | 公开（公告）日： | 2008-08-06 |
| 发明（设计）人： | 袁志扬;王天明;刘育 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/68;H02K41/03;H02K33/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种气浮磁控精密运动平台，包括动子平台，定子平台，动子推力线圈和定子永磁铁阵列，x－y向反射镜，x－y向反射镜位于动子平台顶部的两侧，动子平台底部边缘分布有气浮孔，动子平台中心分布有真空腔，动子推力线圈位于动子平台底部内侧，定子永磁铁阵列固定于定子平台，整个动子平台悬浮于定子平台上，动子推力线圈排列方式与定子永磁铁阵列相匹配。采用本实用新型气浮磁控精密运动平台，单动子气浮磁控精密运动平台可实现微米/纳米级的微动精度和定位精度；多动子气浮磁控精密运动平台可实现多工位大行程精密运动。动子平台悬浮于定子平台上，避免平台之间机械摩擦以及摩擦带来的平台运动精度问题，同时可冷却动子线圈。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 精密 运动 平台 | ||
【主权项】：
1、一种气浮磁控精密运动平台，-包括动子平台，定子平台，动子推力线圈，定子永磁铁阵列，和位于动子平台顶部的两侧x-y向反射镜，其特征在于：所述动子平台底部边缘分布有气浮孔，动子平台底部中心分布有真空腔，动子推力线圈位于动子平台底部内侧，定子永磁铁阵列固定于定子平台，整个动子平台悬浮于定子平台上，动子推力线圈排列方式与定子永磁体阵列相匹配。
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