[实用新型]一种安全的小流量气体纯化装置有效
申请号: | 200720074400.2 | 申请日: | 2007-09-05 |
公开(公告)号: | CN201101934Y | 公开(公告)日: | 2008-08-20 |
发明(设计)人: | 江晓松 | 申请(专利权)人: | 先普半导体技术(上海)有限公司 |
主分类号: | B01D53/04 | 分类号: | B01D53/04 |
代理公司: | 上海三和万国知识产权代理事务所 | 代理人: | 刘立平;蔡海淳 |
地址: | 200000上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 一种安全的小流量气体纯化装置,属气体提纯(纯化)领域。包括设置有一进气端和一出气端的容器,容器内装载有吸附剂,其所述的容器为一长度/内径比大于25的金属管;所述金属管的两端,设置变径式接头;在变径式接头和管道的端口之间设置多孔材料过滤片;在两端多孔材料过滤片之间的金属管中,填充气体吸附剂;其中,在进气端部分的管段内填充颗粒状气体吸附剂,在出气端的管段内填充粉末状气体吸附剂;在金属管的中间部分区域,设置有受温度控制电路控制的加温部件。本气体纯化装置的制造方法简单,能够耐受较高的源气杂质浓度而不会带来安全隐患,适用于各种小流量的气体纯化领域。 | ||
搜索关键词: | 一种 安全 流量 气体 纯化 装置 | ||
【主权项】:
1.一种安全的小流量气体纯化装置,包括设置有一进气端(6)和一出气端(7)的容器,容器内装载有吸附剂,其特征是:所述的容器为一长度/内径比大于25的金属管(1);所述金属管的两端,设置变径式接头(2);在变径式接头和管道的端口之间设置多孔材料过滤片(3);在两端多孔材料过滤片之间的金属管中,填充气体吸附剂;其中,在进气端部分的管段内填充颗粒状气体吸附剂(4),在出气端的管段内填充粉末状气体吸附剂(5);在金属管的中间部分区域,设置有受温度控制电路(9)控制的加温部件(8),该区域为加温区域。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于先普半导体技术(上海)有限公司,未经先普半导体技术(上海)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/200720074400.2/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:连接器及其外壳
- 下一篇:滑轮减速式缓降机的制动装置