[实用新型]一种安全的小流量气体纯化装置有效

专利信息
申请号: 200720074400.2 申请日: 2007-09-05
公开(公告)号: CN201101934Y 公开(公告)日: 2008-08-20
发明(设计)人: 江晓松 申请(专利权)人: 先普半导体技术(上海)有限公司
主分类号: B01D53/04 分类号: B01D53/04
代理公司: 上海三和万国知识产权代理事务所 代理人: 刘立平;蔡海淳
地址: 200000上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 一种安全的小流量气体纯化装置,属气体提纯(纯化)领域。包括设置有一进气端和一出气端的容器,容器内装载有吸附剂,其所述的容器为一长度/内径比大于25的金属管;所述金属管的两端,设置变径式接头;在变径式接头和管道的端口之间设置多孔材料过滤片;在两端多孔材料过滤片之间的金属管中,填充气体吸附剂;其中,在进气端部分的管段内填充颗粒状气体吸附剂,在出气端的管段内填充粉末状气体吸附剂;在金属管的中间部分区域,设置有受温度控制电路控制的加温部件。本气体纯化装置的制造方法简单,能够耐受较高的源气杂质浓度而不会带来安全隐患,适用于各种小流量的气体纯化领域。
搜索关键词: 一种 安全 流量 气体 纯化 装置
【主权项】:
1.一种安全的小流量气体纯化装置,包括设置有一进气端(6)和一出气端(7)的容器,容器内装载有吸附剂,其特征是:所述的容器为一长度/内径比大于25的金属管(1);所述金属管的两端,设置变径式接头(2);在变径式接头和管道的端口之间设置多孔材料过滤片(3);在两端多孔材料过滤片之间的金属管中,填充气体吸附剂;其中,在进气端部分的管段内填充颗粒状气体吸附剂(4),在出气端的管段内填充粉末状气体吸附剂(5);在金属管的中间部分区域,设置有受温度控制电路(9)控制的加温部件(8),该区域为加温区域。
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