[发明专利]一种提高铁磁/反铁磁交换偏置双层膜性能的方法无效
申请号: | 200710178704.8 | 申请日: | 2007-12-04 |
公开(公告)号: | CN101169937A | 公开(公告)日: | 2008-04-30 |
发明(设计)人: | 于广华;刘洋;金川 | 申请(专利权)人: | 北京科技大学 |
主分类号: | G11B5/39 | 分类号: | G11B5/39;H01L43/08 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 100083*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供了一种提高FM/FeMn双层膜交换偏置性能的方法,属于磁记录介质领域。其特征在于,在交换偏置多层膜中,在铁磁层和铁锰FeMn反铁磁层之间引入一个铂铁锰PtFeMn插层。铂铁锰PtFeMn层通过共溅射铂Pt和铁锰FeMn的方式得到。本发明的优点在于,在铁锰FeMn作为反铁磁材料的交换偏置双层膜的被钉扎铁磁层与FeMn层的界面插入PtFeMn薄层,在FM/AFM界面制造一个铁磁性的缓冲层,在不改变现有反铁磁层材料的基础上,通过界面改性提高交换偏置多层膜的交换偏置场Hex以及热稳定性。 | ||
搜索关键词: | 一种 提高 反铁磁 交换 偏置 双层 性能 方法 | ||
【主权项】:
1.一种提高铁磁/反铁磁交换偏置双层膜性能的方法,采用磁控溅射仪,在清洗干净的玻璃基片或单晶硅基片上依次沉积种子层、铁磁层、铁锰反铁磁层、保护层,其特征在于,在铁磁层和铁锰反铁磁层之间沉积连续完整的铂铁锰PtFeMn插层。
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