[发明专利]动态量传感器有效
| 申请号： | 200710154798.5 | 申请日： | 2007-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN101149389A | 公开（公告）日： | 2008-03-26 |
| 发明（设计）人： | 胜间田卓 | 申请（专利权）人： | 株式会社电装 |
| 主分类号： | G01P9/04 | 分类号： | G01P9/04;G01P3/44;G01P3/50;G01C19/56 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 王永建 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种动态量传感器(S1)，包括基底(200)、由具有角部分(101)的矩形板制成的传感芯片(100)、及凸块(400)。所述传感芯片(100)包括检测器(3、4)和多个焊盘(50、51、52、53、54)。所述检测器(3、4)具有可移动部分(3a、4a)，当动态量施加于其上的时候，所述可移动部分可以位移，并根据可移动部分(3a、4a)的位移且基于电容变化来检测所述动态量。凸块(400)将传感芯片(100)的多个焊盘(50、51、52、53、54)和基底(200)相连。传感芯片(100)的角部分(101)从基底(200)释放，使得传感芯片(100)的多个焊盘(50、51、52、53、54)布置在距传感芯片(100)的角部分(101)预定距离的一个位置上。 | ||
| 搜索关键词： | 动态 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种动态量传感器(S1)，包括：基底(200)；由具有角部分(101)的矩形板制成的传感芯片(100)，所述传感芯片(100)包括：具有可移动部分(3a、4a)的检测器(3、4)，当一动态量施加于其上的时候，所述可移动部分可以进行位移，其中，所述检测器(3、4)根据所述可移动部分(3a、4a)的位移并基于电容变化来检测所述动态量，以及多个焊盘(50、51、52、53、54)；以及凸块(400)，用于使所述传感芯片(100)的所述多个焊盘(50、51、52、53、54)与所述基底(200)电连接和机械连接，其中，所述传感芯片(100)的所述角部分(101)从所述基底(200)释放，使得所述传感芯片(100)的所述多个焊盘(50、51、52、53、54)布置在距所述传感芯片(100)的所述角部分(101)预定距离的一个位置上。
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