[发明专利]微电子机械可重构宽频带微波功率传感器及其制备方法

摘要

微电子机械可重构宽频带微波功率传感器是一种利用共面波导天线接收微波功率从而引起电阻发热，通过热电堆测出微波信号幅度的传感器。该传感器是在砷化镓衬底(9)上，形成工作在不同频段的共面波导天线(4)，通过微机械电容式串联开关(4)来控制共面波导天线(4)工作在不同频段，共面波导天线(4)再与共面波导传输线(5)连接从而传输微波信号，在共面波导传输线(5)终端有两个并联的电阻作为负载电阻(11)，负载电阻(11)发热引起其外侧的热电堆(6)的发热，热电堆(6)由于发热的不均而产生了温度差，温度差导致热电堆(6)产生塞贝克效应，在其两端产生直流电压输出，而该输出电压与输入的待测微波功率成正比，测量这个电压便可以得出微波功率的数值。

主权项

1.一种微电子机械可重构宽频带微波功率传感器，其特征在于该传感器的衬底为砷化镓衬底(9)，在砷化镓衬底(9)上有一层铝镓砷薄膜(8)，在铝镓砷薄膜(8)的上表面设有第一微机械电容式串联开关(1)、第二微机械电容式串联开关(2)、第三微机械电容式串联开关(3)、共面波导天线(4)、共面波导传输线(5)、热电堆(6)、压焊块(7)、微机械电容式串联开关(10)、终端负载电阻(11)；共面波导天线(4)有三条呈“T”形分布，在“T”形分布的共面波导天线(4)的两侧分别设有第一微机械电容式串联开关(1)、第二微机械电容式串联开关(2)、第三微机械电容式串联开关(3)，在“T”形分布的共面波导天线(4)的下侧连接共面波导传输线(5)，在共面波导传输线(5)终端有两个并联的负载电阻(11)，在两个并联的负载电阻(11)的外侧对应设有热电堆(6)，热电堆(6)的一端通过导线与两个压焊块(7)相连接。