[发明专利]防护薄膜组件及防护薄膜组件剥离装置

摘要

本发明提供一种防护薄膜框架，在贴附到光掩模之后，可容易地进行剥离；进一步提供一种装置，可将光掩模所贴附的防护薄膜组件加以无损伤地剥离。本发明的防护薄膜组件的特征为：至少一边的边长在300mm以上的防护薄膜组件，且在贴附在光掩模2的状态中，在防护薄膜框架1的外侧全周80％以上的区域，光掩模2及防护薄膜框架1二者间设有宽2mm以上、高0.5mm以上的间隙。本发明的防护薄膜组件剥离装置的特征为：包含：剥离具7，下部具有平板状部15；及升降机构12，将该剥离具7保持与光掩模2平行的状态下，而往上方升高。并且，通过把剥离具7的平板状部15加以插进防护薄膜框架1及光掩模2两者的间隙，以将光掩模2及防护薄膜组件二者分开。

主权项

1.一种防护薄膜组件，其至少一边的边长在300mm以上，其特征为：于贴附在光掩模的状态中，在防护薄膜框架的外侧全周的80％以上的区域，于光掩模及防护薄膜框架二者间设有宽2mm以上、高0.5mm以上的间隙。