[发明专利]含无机颗粒的光敏性树脂组合物、光敏性薄膜和无机图案的形成方法有效
| 申请号： | 200710098163.8 | 申请日： | 2007-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN101059656A | 公开（公告）日： | 2007-10-24 |
| 发明（设计）人： | 工藤和生;增子英明 | 申请（专利权）人： | JSR株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/028 | 分类号： | G03F7/028;G03F7/20;G03F7/26 |
| 代理公司： | 北京三幸商标专利事务所 | 代理人： | 刘激扬 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种含无机颗粒的光敏性树脂组合物、光敏性薄膜和无机图案的形成方法。提供能够形成高精度图案，同时有机成分的热分解性优良，且焙烧后收缩小的含无机颗粒的光敏性组合物。本发明所涉及的含无机颗粒的光敏性树脂组合物特征在于含有无机颗粒、碱可溶性树脂、1分子中具有至少2个(甲基)丙烯酰基且具有选自缩醛键、半缩醛酯键和单硫缩醛键的至少1个键的光固化剂和光聚合引发剂。 | ||
| 搜索关键词： | 无机 颗粒 光敏 树脂 组合 薄膜 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
1.一种显示器部件形成用的含无机颗粒的光敏性树脂组合物，其特征在于含有无机颗粒、碱可溶性树脂、1分子中具有至少2个(甲基)丙烯酰基且具有选自缩醛键、半缩醛酯键和单硫缩醛键的至少1个键的光固化剂、和光聚合引发剂。
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