[发明专利]检测可接受测试数据方法及晶圆可接受测试控制方法无效
| 申请号： | 200710094483.6 | 申请日： | 2007-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN101458514A | 公开（公告）日： | 2009-06-17 |
| 发明（设计）人： | 杨斯元;简维廷 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418;G06Q10/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李 丽 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种检测可接受测试数据方法，包括，采集可接受测试数据，计算所采集可接受测试数据的平均值和方差；获得与基准平均值、基准方差以及规格宽度对应的偏移容忍度，以及与可接受测试数据的规格宽度对应的离散容忍度；若所采集可接受测试数据的平均值与基准平均值的差的绝对值超出偏移容忍度，或所采集可接受测试数据的方差与基准方差的比值超出离散容忍度，则所采集可接受测试数据为失控数据。本发明还公开了一种晶圆可接受测试控制方法，所述检测可接受测试数据及晶圆可接受测试控制方法使得检测更准确可靠，并且提高检测效率，减少假警报率。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 可接受 测试数据 方法 测试 控制 | ||
【主权项】：
1. 一种检测可接受测试数据方法，其特征在于，包括下列步骤：采集可接受测试数据，计算所采集可接受测试数据的平均值和方差；获得与基准平均值、基准方差以及规格宽度对应的偏移容忍度，以及与可接受测试数据的规格宽度对应的离散容忍度；若所采集可接受测试数据的平均值与基准平均值的差的绝对值超出偏移容忍度，或所采集可接受测试数据的方差与基准方差的比值超出离散容忍度，则所采集可接受测试数据为失控数据。
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