[发明专利]抛光剂无效
| 申请号： | 200710092346.9 | 申请日： | 2007-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN101029208A | 公开（公告）日： | 2007-09-05 |
| 发明（设计）人： | G·海伊;A·阿格希纳 | 申请（专利权）人： | H.C.施塔克公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;C09G1/18;H01L21/304 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 庞立志;李连涛 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及葡糖酸盐在半导体晶片制备中的用途，优选在制备方法中抛光半导体晶片中的用途，而且涉及一种抛光剂，所述抛光剂基于研磨材料和/或胶体以及二琥珀酸/盐或者甲基甘氨酸二乙酸(MGDA)和葡糖酸盐的混合物。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 | ||
【主权项】：
1.一种抛光剂，含有如下组分：a)水，b)研磨材料和/或胶体，c)甲基甘氨酸二乙酸或者以下通式的二琥珀酸/盐![]()
其中R表示-(NH-CH2-CH2-)nNH-，X表示氢和/或碱金属n是0-2的整数，和d)葡糖酸的碱金属盐或者碱土金属盐。
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